1.1氣體監(jiān)控系統(tǒng)：

完整的特殊氣體系統(tǒng),含本系統(tǒng)配套監(jiān)控系統(tǒng)（以下簡稱監(jiān)控系統(tǒng)或GMS），監(jiān)控系統(tǒng)包括所需的計算機工作站階層硬件、網絡傳輸階層設備、控制器及儀表等的深化設計、設備材料采購、施工安裝、總體測試、試車及培訓。監(jiān)控系統(tǒng)需包含大宗氣站的監(jiān)控畫面同步，監(jiān)控所屬的輸入輸出信號配接和實現(xiàn) GMS 監(jiān)測的全部工作。

1.2氣體偵測系統(tǒng)：

本包設置的氣體偵測系統(tǒng), 用于監(jiān)測各種特殊氣體（可燃/爆炸性，腐蝕性，毒性）的設備或環(huán)境濃度以及存在窒息風險區(qū)域的環(huán)境氧氣濃度以判斷泄漏狀況或環(huán)境安全狀況。并在緊急狀況（如泄漏濃度為 2 段警報）時實現(xiàn)相關系統(tǒng)聯(lián)動。  

1.3管路形式：

 Cl2、AsH3、PH3、10%SiH4/N2、Hbr、SIH4采用雙套管;

1.4材質要求：            

工藝氣體管路材質：   

SiH4、10%SiH4/N2、AsH3、PH3—（外管） SS304 AP 、（內管）SS316L EP

Cl2、HBr—（外管） SS304 AP 、（內管）SS316L V+V

Ar，He，O2，CF4，CF4/O2，N2O，C2F6，PN2— SS316L EP 

GN2—SS316L BA

H2—（純化器前） SS316L BA、 （純化器后）SS316L EP

1.5 程序編寫：

特氣設備對應特偵點位安裝及聯(lián)動程序編寫，監(jiān)控信號接入現(xiàn)有GMS系統(tǒng)

1.6 管路標識：

管路標識（包含信號線、采樣管），氣體化學品名稱、管路材質尺寸走向等，設備相關的標識與掛牌等須符合規(guī)范并與現(xiàn)場相同

1.7 施工現(xiàn)場6S管理：

1.8 RFQ的確認：

供應商在接到用戶的RFQ后，即日需要跟用戶進行RFQ的確認，同時到現(xiàn)場進行會堪的確認，以及管路圖的確認。包含但不限于：

 ? 規(guī)劃布局設計、工藝流程設計、配管配線管路設計

? 質量保證和控制

? 所有需求設備&配件&材料的制造和購買

? 包裝、運輸、拆箱、move in

? 設備定位、安裝

? 調試、測試、整改和驗收

? 所有機臺管路閥門等的標識

? 施工現(xiàn)場6S管理

? 竣工資料

? 保固

? 系統(tǒng)培訓

? 系統(tǒng)流程圖

1.9施工要求：

1)該項目所需臨時設施，辦公設施，以及調試、測試、驗收所需公共設施、材料等，均由承攬商負責。

2)該項目所需臨時或永久輔助設施、管路支撐，由承攬商負責；承攬商可以使用既有公共橋架、管路支撐；同時，承攬商應允許其它包商合理使用其永久橋架、管路支撐。

3)即使一些附屬項目沒有明確在規(guī)范中提及或在圖中指示，而作為必需的，都包含在該正確和完整的系統(tǒng)中。

4)承攬商應充分、完全了解該項目范圍，報價應包含所有部分，如因承攬商自身問題導致的任何遺漏部分將不予以追加。

5)該項目所附設計圖紙為基礎圖，用以描述管路尺寸、閥門分布、管路近似位置等。所有管路閥門實際位置以空間管理圖紙為準，供應商所詳細設計的內容不得低于基礎要求。

6)關于質量管控，在系統(tǒng)安裝時需專業(yè)的質量管控人員稽核。業(yè)主可視需求至承攬商設備制造基地現(xiàn)場檢驗，承攬商不得以任何理由拖延或拒絕執(zhí)行；

7)如果業(yè)主對承攬商的工作質量不滿意，可有權安排質量控制和其他服務如培訓等，甚至部分或者完全由第三方來執(zhí)行。由此發(fā)生的費用將由承攬商負責。

8)業(yè)主有權在設備制造、出廠及安裝期間直接或委派質量監(jiān)督人員進行一次或多次質量檢查，承攬商須支持由業(yè)主或代表他們的第三方的監(jiān)督工作，承攬商須承擔可能發(fā)生的費用。